HSQ電子束光刻膠屬於電子束光刻膠,常見的電子束光刻膠HSQ有:XR-1541-002/XR-1541-004/XR-1541-006/fox15/fox16/fox24/fox25。適用E-beam,X-ray圖譜, 厚度為30-950nm。具有高分辨率、耐刻蝕、垂直型好、對比度高、低介電常數的特性。HSQ基於籠狀齊聚倍半矽氧烷HSQ 的負性電子束光刻膠,可用於納米級別幹法刻蝕的掩膜。
光刻膠Lift off KXN 5735-LO/LOL2000/3000/ROL-7133系列
光刻膠SU-8 100
光刻膠SU-8 2050
聚乙烯醇肉桂酸酯系負型光刻膠
Liftft off光刻膠
ma-N 1400系列 負性光刻膠
ma-N 400系列 負性光刻膠
瑞禧WFF.2022.6
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