在經濟逆風、消費電子需求萎靡等因素沖擊下，全球半導體產業迎來挑戰。與此同時，受益於國內政策力挺以及本土化替代趨勢，國內半導體設備等上遊賽道正保持著增長的態勢。

壹

國產設備頻傳佳音

01

邑文科技獲中車時代批量訂單

9月4日，國產半導體設備企業邑文科技官微宣佈，2023年8月，邑文科技產品喜獲中車時代的批量訂單，數量為8臺，這也是中車時代首次批量采購國產設備。

邑文科技成立於2011年，主營業務為半導體前道工藝設備的研發、制造，公司主要產品為刻蝕工藝設備和薄膜沉積工藝設備，應用於半導體（IC及OSD）前道工藝階段，尤其是化合物半導體和MEMS等特色工藝領域。

02

華海清科HSC-F3400出機

9月1日，高端半導體設備供應商華海清科宣佈，首臺12英寸單片終端清洗機HSC-F3400機臺出機發往國內大矽片龍頭企業。

華海清科表示，HSC-F3400機型是面向大矽片終端清洗市場特殊需求研發的一款高性能設備，其顆粒與金屬污染控制系統可穩定實現超潔凈清洗功能，新穎的清洗及幹燥模塊為晶圓正面及背面的高效率清洗提供技術保障。該機型將廣泛應用於大矽片等制造領域。

此前5月，華海清科新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺出機發往集成電路龍頭企業。12英寸超精密晶圓減薄機是業內首次實現12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設備，Versatile-GP300量產機臺可穩定實現12英寸晶圓片內磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩定可控。

6月，華海清科集成電路高端裝備研發及產業化項目奠基。該項目位於馬駒橋鎮智能制造基地，由子公司華海清科（北京）科技有限公司負責，主要涉及化學機械拋光（CMP）設備、減薄機的研發和產業化。項目達產後，將具備28納米以下先進制程CMP設備研制能力，以及每月20萬片12英寸再生晶圓代工能力。

03

晶升股份與客戶簽訂碳化矽爐設備合同

8月28日，晶升股份發佈公告稱，其與客戶J簽訂瞭《【碳化矽爐】設備買賣合同》。合同價款合計暫估金額為1.2億元，分三批執行，第一批次預付款支付後3-4個月交付，第二批次和第三批次的設備數量、型號、價格及交貨時間以雙方簽訂的訂單為準。

對上市公司當前業績的影響，晶升股份表示，本合同為銷售合同，屬於公司日常經營業務，根據其約定的履行進度，若本合同順利履行，將會對公司 2023 年及以後年度的營業收入和凈利潤產生積極影響，公司將根據合同規定及收入確認原則在相應的會計期間確認收入。

資料顯示，晶升股份成立於2012年2月，是一傢專業從事8-12英寸半導體級單晶矽爐、6-8英寸碳化矽、砷化鎵等半導體材料長晶設備及工藝開發的國傢高新技術企業。

據相關信息顯示，晶升股份的碳化矽單晶爐於2019年實現量產銷售，目前已經擁有JSSD、SCET420、SCMP、SCR950以及SCMP/LP在內的五個系列的碳化矽單晶爐，可用於生產6~8英寸碳化矽單晶襯底，並擁有碳化矽原料合成爐、氧化鋁原料提純爐等化合物半導體制造設備。

04

凱世通簽署晶圓廠新客戶訂單

8月13日，萬業企業旗下凱世通半導體宣佈，近日與一傢晶圓廠新客戶簽署瞭12英寸低能大束流離子註入機銷售訂單。

此前1月，凱世通半導體與該重要芯片制造廠簽署瞭近7億元的設備訂單，4月，凱世通半導體大束流離子註入機在客戶工廠舉行瞭首臺move in儀式，成功向客戶交付新訂單的首批設備。

2020年至今，凱世通半導體已與多傢12英寸集成電路制造廠主流客戶簽署瞭采購訂單，累計金額超10億元。

官方顯示，凱世通半導體成立於2009年4月，是一傢以離子束技術為核心的集科研、制造於一體的高科技企業，主要研制、生產、再制造和銷售高端離子註入機，重點應用於光伏太陽能電池，新型平板顯示，和半導體集成電路領域。

05

嘉芯半導體與嘉善復旦研究院合作

8月16日，萬業企業旗下嘉芯半導體設備科技有限公司（以下簡稱“嘉芯半導體”）與嘉善復旦研究院宣佈達成戰略合作。

根據戰略合作協議的內容，雙方建立戰略合作夥伴關系，就集成電路領域的科研合作、產業合作、人才交流等方面形成長期穩定的合作關系。

資料顯示，嘉芯半導體於2021年4月由半導體設備上市公司萬業企業攜手全球產業專傢共同投資成立，總投資規模達20億元，用地面積109畝，公司研發及制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等等集成電路成熟工藝的關鍵設備，產品范圍覆蓋芯片制造核心設備的多個重要品類。

據瞭解，自2022年下半年開始，嘉芯半導體多次中標客戶特色工藝生產線，包含氮化矽等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、深槽刻蝕機、側墻等離子刻蝕機；高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD)、摻雜硼磷二氧化矽薄膜化學沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）、快速熱處理（RTP）設備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等多類設備。

貳

本土設備廠商溯遊而上

根據全球半導體觀察此前發佈《半導體設備狂飆，本土廠商強勢溯遊而上》文章指出，2021年至今年一季度，國內設備廠商保持上漲趨勢，受益於本土替代黃金契機，廠商抵抗風險能力得到增強。

根據圖表，北方華創、長川科技、盛美上海、華海清科、拓荊科技、芯源微、等六傢A股半導體設備公司2022年業績同比增速上限大於100%。今年一季度業績方面，北方華創、中微公司、晶盛機電、至純科技、盛美上海、華海清科六傢業績同比增速上限大於100%。

圖表來源：全球半導體觀察根據公開信息整理

另外，據中國電子專用設備工業協會統計，2022年，國內77傢規模以上半導體設備制造商銷售收入累計完成593億元，與2021年386億元相比，同比增長53.6%。其中，2022年前十傢設備制造商完成銷售收入438億元，占77傢合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業的數量也已經超過200傢。

當前，中國是全球最大的半導體設備市場，然國內本土半導體設備市場在全球市場占比率仍較低，在國內市場推動下，國內半導體設備有望步入發展快車道。